AGD装置

代表的な装置仕様

ノズル幅&本数;10mm、1本
基材駆動;50mm(一軸駆動)
成膜サイズ;Max. 10mm x 50mm

ノズル幅&本数;5mm、1本
基材駆動;50mm x 50mm(2軸)
成膜サイズ;Max. 55mm x 50mm

ノズル幅&本数;30mm、1本
基材駆動;100mm x 100mm(2軸)
成膜サイズ;Max. 130mm x 100mm

 

ノズル幅&本数;5mm、2本
基材駆動;50mm x 50mm(2軸)
成膜サイズ;Max. 55mm x 50mm

ノズル幅&本数;5mm、3本
基材駆動;100mm x 100mm(2軸)
成膜サイズ;Max. 105mm x 100mm

ノズル幅&本数;5mm、4本
基材駆動;100mm x 100mm(2軸)
成膜サイズ;Max. 105mm x 100mm

 

ノズル幅&本数;120mm、1本
基材駆動;120mm x 120mm(2軸)
成膜サイズ;Max. 240mm x 120mm

ノズル幅&本数;30mm、2本
基材駆動;120mm x 120mm(2軸)
成膜サイズ;Max. 150mm x 120mm