乾式直接描画のガスデポジション法においては、ナノ粒子をガス流に乗せてノズルより高速で噴射することにより膜形成がおこなわれる。ガス中で生成された直後のメタル粒子を使うガスデポジション装置の一例。
ガスデポジション装置 1
成膜イメージ図
ガスデポジション装置 2-1
ガスデポジション装置 2-2
ガスデポジション装置 3
ガスデポジションの成膜例
最表層へのデポ及びコンタクト状況
ガスデポジション法は、ナノ粒子をガス流に乗せてノズルより高速で噴射させることにより膜形成を行う。このナノ粒子として、セラミックス粒子を粉状で容器に入れ、ガスをこの容器に供給し、エアロゾル状にして利用するエアロゾル化ガスデポジション装置の一例。
エアロゾル化ガスデポジション装置 1
GD-AE04/DS
エアロゾル化ガスデポジション装置 2
GD-AE04/SS2
エアロゾル化ガスデポジション装置 3
GD-AE04/MD
エアロゾル化ガスデポジション装置 4
GD-AE03/NK
エアロゾル化ガスデポジション装置 5
GD-AE04/HD
エアロゾル化ガスデポジション装置 6
GD-AE04/ID
カーボンナノホーンと命名された、カーボンナノチューブの一種で、チューブの先が閉じた単層のグラファイト。牛の角(つの)のような単層グラファイトが、いが栗のように集まっている物質です。そのカーボンナノホーンをｋｇ単位で、作製する設備の一例。
カーボンナノホーン作製装置
構造図
透過型電子顕微鏡写真
“カーボンナノチューブ”とは、「カーボン(炭素)」でできた、直径が「ナノ」メートル (1ナノメートルは、10億分の1メートル、人間の髪の毛の1万分の1くらい)の「チューブ(筒)」状の物質です。そのカーボンナノチューブを、炭素電極間にアーク放電を生じさせ、作製する装置の一例。
カーボンナノチューブ作製装置
メタルフラーレン作製装置 1
GE-CCA1-SC1
メタルフラーレン作製装置 2
GE-CCA1-NS
レーザー加熱式ナノメタル粒子作製装置
