nano tech 2017に出展しました

日時：2016年２月15日（水）～17日（金）

場所：東京ビックサイト　東５ホール

【ベンチャーパビリオン、小間番号：5A-03-10】

テーマ名：新規の静電誘導プラズマ成膜装置技術

サブタイトル：セラミックス粉の常温成膜技術、静電誘導プラズマ場のスパッタ膜

　　　　　　　（新規エアロゾル化ガスデポジション装置）

　　－関東経済産業局、戦略的基盤技術高度化支援事業(サポイン)の補助に基づく－