nano tech 2017 展示会出展

nano tech 2017に出展しました

日時:2016年2月15日(水)~17日(金)

場所:東京ビックサイト 東5ホール

【ベンチャーパビリオン、小間番号:5A-03-10

 

テーマ名:新規の静電誘導プラズマ成膜装置技術

サブタイトル:セラミックス粉の常温成膜技術、静電誘導プラズマ場のスパッタ膜

       (新規エアロゾル化ガスデポジション装置)

  -関東経済産業局、戦略的基盤技術高度化支援事業(サポイン)の補助に基づく-